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供混氣系統(四路質量流量計)[產品打印頁面]

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產品名稱: 供混氣系統(四路質量流量計)
產品特點: GQ-4Z
產品展商: MICRO-X
產品價格: 1.00 元
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簡單介紹

供混氣系統(四路質量流量計)



供混氣系統(四路質量流量計)  的詳細介紹
四路質量供混氣系統MXGQ-4Z
GQ-4Z可以用于控制一種到四種的氣體流經真空密封的管式爐,這種氣體控制系統安裝在移動架上,管式爐可以放在GQ-4Z的上面,氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥。結合微行爐業的管式爐,它可以用于CVD系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響。
 
質量流量控制器
工作電壓:220V
上限輸出功率:18W
控制范圍:
   控制器1:0-100 SCCM

   控制器2:1-199 SCCM

   控制器1:1-199 SCCM

   控制器2:1-499 SCCM
工作溫度:5-45 oC
上限壓力:3* 10^6 Pa
準確度:±1%FS
機械壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
針型閥:304不銹鋼
混氣罐:Φ80*120MM
截止閥:Φ1/4 304不銹鋼
外形尺寸:600*600*650MM
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